日前，2024年中国仪器仪表学会公布了科学技术奖获奖名单，我校专职科研人员胡韶华教授参与完成的“智能高速近紫外接近式光刻机关键技术及应用”项目获得科技进步二等奖。
据悉，该项目相继攻克光刻机国产化的关键技术难题，初步形成了光刻机技术体系，并初步应用。我校胡韶华教授作为项目主要完成人之一，在光刻机多轴高速联动机构设计及反向间隙高精度补偿算法等技术方面做出了较大贡献。
获奖证书
（供稿：科技处 胡韶华 陈冉越 汪应 /责编：林晓群 刘洪梅）
